我国首台串列型高能氢离子注入机成功出束,超越光刻机的重要里程碑 我国成功研制出首台串列型高能氢离子注入机,其地位堪比光刻机,该设备的出束标志着我国在离子注入技术领域的重大突破,具有极高的科技含量和应用价值,这一成果的取得对于推动我国高科技产业的发展,提升国家核心竞争力具有重要意义。...