上海微电子成功中标光刻机，国产光刻技术取得新突破

上海微电子成功中标一台光刻机，中标金额高达1.1亿，标志着国产光刻机取得新进展，这一重要突破将推动国内半导体产业的发展，有望提高国产芯片的生产效率和质量，此次光刻机的成功中标，也证明了国内科技企业的实力和创新能力，为中国半导体产业的自主可控发展注入了新的动力。

上海微电子1.1亿中标一台光刻机 国产光刻机取得新进展！据中国政府采购网公示，12月25日，上海微电子装备（集团）股份有限公司中标一个采购步进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额10999.985万元。上海微电子隶属上海电气集团，为中国半导体装备领域的核心企业，在高端光刻机的研发与制造方面处于国内领先地位。今年5月，上海微电子已经实现90nm ArF光刻机量产。

此次中标公示中的几个关键信息引发了外界热议。货物型号为SSC800/10，“SSC”是首次公开的光刻机型号代号。“SS”可能代表“步进扫描式”，这是当前主流精密制程的半导体极紫外光（EUV）、深紫外光（DUV）光刻机的机械工作方案。目前上海微电子量产的光刻机包括前道制造、浸没式光刻机“SSA”“SSX”“SSB”等系列。

从采购方式来看，该项目采用“单一来源采购”。根据《政府采购法》，“单一来源采购”的情况仅被允许在因货物或服务使用了不可替代的专利、专有技术，或者公共服务项目有特殊要求，导致只能从某一特定供应商处采购；包括不可预见的紧急情况；保证原有项目一致性或服务配套；以及招标失败等情况。

值得注意的是，此次采购主体“zycgr22011903”使用了保密代码，一般为保密需求的特定机构、项目主体或采购批次的代称。该主体在过去一段时间内在半导体领域分别招标了晶圆清洗机、椭偏仪、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、原子层刻蚀设备(ALE)、电子束光刻机等设备。

从金额来看，上海微电子约1.1亿元的中标金额，与大量光刻机相关招标的百万或小千万级别的中标金额有较大差距。全球知名光刻机企业阿斯麦的光刻机整机价格，DUV和EUV光刻机分别在5亿元人民币和10亿元人民币以上，价格仍然远高于上海微电子。

其他国内光刻机进展方面，今年以来，哈尔滨工业大学成功研发13.5nm极紫外光刻光源，中科院上海光机所的深紫外光源系统提升工艺极限至3纳米理论值。种种迹象显示，我国在光刻机领域正获得突破性进展。

相关中标信息也迅速在资本市场掀起波澜，当天午后光刻机概念即异动拉升，国风新材直线涨停，华软科技、华融化学、高盟新材等概念股也有冲高表现。上海微电子1.1亿中标一台光刻机 国产光刻机取得新进展！