EUV光刻机，生物医学领域意想不到的应用！

EUV光刻机的用途远超预期，近期被发现可应用于生物医学领域，这一技术的意外应用展示了其在高精度生物样本成像和生物材料加工方面的潜力，通过利用EUV光刻机的先进光学系统和纳米级精度，生物医学领域得以在细胞结构研究、药物研发及生物材料制造等方面取得重大突破，这一发现为生物医学领域带来了革命性的进步。

12月22日消息，长期以来，EUV光刻技术一直被主要用于打造最强大的逻辑与存储芯片。

不过比利时微电子研究中心（IMEC）近日首次成功利用ASML的EUV光刻设备，在300毫米晶圆上实现了固态纳米孔的晶圆级制造。

这项进展被ASML公关负责人誉为意想不到且出色的生物医学应用。

所谓纳米孔，是直径仅有几纳米的微小孔洞，其精细程度约为人类头发丝的万分之一，在生物传感领域，纳米孔的作用如同分子检查站。

当离子电流流过孔洞时，通过其中的分子（如病毒、蛋白质或 DNA）会对电流产生独特的信号，科学家可以根据这些独特的电信号，高灵敏度地辨别分子的尺寸、结构和电荷。

虽然纳米孔在基因组学和蛋白质组学中具有巨大潜力，但过往受限于制造变异性大和集成困难，始终无法实现大规模生产。

imec的突破在于利用EUV技术确保了孔径的高度一致性，目前孔径已精确缩小至约10纳米，未来更有望通过工艺改进突破5纳米。

更重要的是，这种方法与CMOS兼容，意味着生物传感器可以像生产芯片一样在300毫米晶圆上大规模制造。

imec研发项目经理Ashesh Ray Chaudhuri表示，将原本用于芯片制造的EUV基础设施应用于生命科学，已经为高通量生物传感器阵列打开了大门。